搜索
查看: 2009|回复: 2

140GHz MEMS 矩形波导滤波器设计

[复制链接]

143

主题

272

帖子

1098

积分

金牌会员

Rank: 6Rank: 6

积分
1098
发表于 2015-11-17 13:19:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片‘厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4—0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.




140GHz MEMS 矩形波导滤波器.pdf (1.68 MB, 下载次数: 35)
回复

使用道具 举报

0

主题

119

帖子

213

积分

中级会员

Rank: 3Rank: 3

积分
213
发表于 2015-12-7 19:43:44 | 显示全部楼层
感谢分享
回复 支持 反对

使用道具 举报

0

主题

119

帖子

213

积分

中级会员

Rank: 3Rank: 3

积分
213
发表于 2015-12-7 19:44:00 | 显示全部楼层
感谢分享
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 注册/登录

本版积分规则

关闭

站长推荐上一条 /3 下一条

Archiver|手机版|小黑屋|RF技术社区

GMT+8, 2024-7-14 13:11 , Processed in 0.087923 second(s), 12 queries , MemCache On.

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2024, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表