【经典书籍】微传感器与微执行器全书

tuydiy · 发表于 2014-9-30 14:43:55

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。如果你对微波机械系统还不够了解，那么这本书会是你很好的选择。。。

本文目录：
第一章概述
1．微机械加工器件简介
2．什么是换能器
3．传感器与执行器系统的组成
4．什么是微传感器和微执行器
5．微机械加工在什么情况下才有意义
5．1 尺度与性能
5．2 降低成本问题
5．3 微器件和微系统的复杂度
6．要考虑的问题
7．微传感器与微执行器的市场
7．1 作为"使能技术"的微机械加工
7．2 市场会爆发性地增长吗
8．信息来源
8．1 在线资源
8．2 微传感器与微执行器的会议
8．3 参考书与论文收集
8．4 杂志
8．5 学位论文
8．6 专利
.9．结论
参考文献
第二章微机械加工技术
1．微机械加工技术的能力与局限性
2．微机械加工材料
2．1 衬底
2．2 掺杂膜和掺杂材料
3．微机械术语
4．普通半导体的一般特性
4．1 硅的机械特性
4．2 硅与其他半导体材料的天然氧化物
4．3 典型的硅片
5．体(去除)加工
5．1 硅湿法腐蚀
5．1．1 各向同性湿法腐蚀
5．1．2 各向异性湿法腐蚀
5．2 砷化镓及其相关III-V族化合物的湿法腐蚀
5．3 湿法腐蚀的电化学调节
5．3．1 p-n结腐蚀停止方法
5．3．2 光子注入电化学腐蚀
5．4 多孔硅的形成
5．5 其他湿法体腐蚀的技术及材料
5．5．1 多孔铝的各向异性湿法腐蚀
5．5．2 石英的各向异性湿法腐蚀
5．5．3 辅助离子注入湿法腐蚀
5．5．4 离子轨迹辅助损伤湿法腐蚀
5．5．5 单侧晶片腐蚀
5．5．6 通用湿法腐蚀概念
5．6 气相干法腐蚀
5．6．1 二氟化氙腐蚀
5，6．2 卤间化合物腐蚀的化学性质
5．6．3 其他气相腐蚀方法
5．7 等离子体／反应离子腐蚀
5．7．1 等离子腐蚀中依赖于掺杂物的各向同性
5．7．2 高深宽比干法腐蚀方法
5．7．3 可调整各向异性腐蚀工艺
5．8 激光驱动体腐蚀工艺
5．8．1 激光穿孔
5．8．2 激光退火技术
5．8．3 激光驱动腐蚀法
6．"表面"(添加)工艺
6．1 薄膜工艺
6．1．1 微机械加工中的非金属薄膜
6．1．2 非金属薄膜的湿法腐蚀
6．1．3 非金属薄膜的干法腐蚀
6．1．4 金属薄膜的微机械加工
6．1．5 金属薄膜的湿法腐蚀
6．1．6 金属薄膜的干法腐蚀
6．1．7 搬移图形化工艺
6．2 激光驱动沉积
6．3 电沉积(电镀)
6．3．1 电沉积原理
6．3．2 直流电镀
6．3．3 脉冲式电镀
6．3．4 电镀中的搅拌
6．3．5 "黑"金属层
6．3．6 "无电极"沉积
6．3．7 镀膜模板
6．3．8 无模板局部电镀
6．4 选择性外延生长
7．键合操作
7．1 阳极键合
7．1．1 用沉积玻璃的阳极键合
7．2 硅熔融键合
7．3 其他键合技术
7．4 键合复合工艺
8．牺牲层工艺
8．1 在湿分离时的黏附问题
8．1．1 在湿法腐蚀分离时的防粘接问题
8．2 牺牲层工艺的例子
8．2．1 牺牲光刻电铸成型工艺(SLIGA)
8．2．2 SIMOX牺牲层
8．2．3 气态牺牲层腐蚀
8．2．4 等离子体腐蚀有机牺牲层
8．3 模板复制
8．3．1 用微机械模板浇注成型
8．3．2 电镀模板复制
8．3．3 基于CVD(化学气相沉积)的模板复制
8．3．4 陶瓷浆模板工艺
8．3．5 衬底模板上面的预成型
9．密封空腔的形成
10．表面修饰
11．印刷与立体光刻
11．1 丝网印刷技术
11．2 转印技术
11．3 用于印刷的粉末填充聚合物
11．4 三维光刻
11．5 转印立体生成技术
12．其他微机械技术
12．1 尖顶的形成
12．1．1 自封闭掩模技术
12．1．2 等离子体微掩模
12．1．3 湿腐蚀
12．2 化学-机械抛光和平面化
12．3 放电加工
12．4 研磨粉加工
12．5 精密机械力口工
12．6 扫描探针加工
12．7 热迁移
12．8 光敏玻璃微机械加工
12．9 聚焦离子束微机械加工
参考文献
第三章力学传感器与执行器
1．引言
2．基本力学
2．1 轴向应力和应变
2．2 剪应力和剪应变
2．3 泊松比
2．4 常用微结构挠度方程
2．4．1 静态梁挠度方程
2．4．2 静态转矩方程
2．4．3 静态平板方程
2．5 动态特性
2．6 热噪声
3．材料的力学特性
3．1 材料失效
3．2 通用材料问题
3．3 薄膜的机械特性
3．3．1 应力测量
3．3．2 其他力学性能的测量
4．基本的机械装置和结构
4．1 平面旋转机械装置
4．2 平面外微机械装置
4．3 结构部件
4．4 双稳态机械器件
4．5 自组装
5．力学传感器
5．1 力传感器件
5．1．1 压阻和压电式应变传感器
5．1．2 压结效应
5．1．3 压电效应
5．1．4 电容式传感器
5．1．5 隧道式探测器
5．2 微机械力学传感器
5．2．1 微机械应变计
5．2．2 加速度计
5．2．3 微机械陀螺
5．2．4 压力传感器
5．2．5 传声器
5．2．6 触觉传感器
5．2．7 生物学力传感器
6．力学执行器
6．1 执行器机理
6．1．1 静电激励
6．1．2 热执行器
6．1．3 形状记忆合金执行器
6．1．4 气动／水力激励
6．1．5 压电激励
6．1．6 磁执行器
6．1．7 化学执行器
6．1．8 混合执行器结构
6．1．9 生物执行器
7．机械电路元件
7．1 机械谐振器
7．1．1 悬臂梁谐振器
7．1．2 侧面谐振器
7．1．3 膜谐振器
7．2 机械继电器和RF开关
7．2．1 通用继电器
7．2．2 射频开关和开关电路
参考文献
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第五章电离辐射传感器
1．引言
1．1 辐射测量单位
1．2 辐射的类型
1．2．1 a放射
1．2．2 B放射
1．2．3 r放射和X放射
1．2．4 中子射线
2．电离探测器
3．闪烁探测器
4．直接固态辐射探测器
4．1 集成探测器阵列
5．其他探测器类型
5．1 转换型传感器
5．2 切伦科夫效应探测器
5．3 热探测器
5．4 MOS门电压探测器
5．5 热发光式探测器
5．6 平行光管
6．辐射对电子仪器的影响
7．辐射对生物的影响
参考文献
第九章微流体器件
1．概述
1．1 基本的流体特性和方程
1．2 流动的类型
1．3 微结构中的气泡和粒子
1．4 毛细作用力
1．5 流阻
1．6 流体的容量
1．7 流体感应系数
2．流体管道
2．1 微机械管道
2．2 表面微机械管道
2．3 其他的管道类型和系统途径
3．流体管道的应用
3．1 混合器
3．1．1 层流混合器
3．1．2 羽毛状混合器
3．1．3 主动式混合器
3．2 基于扩散的萃取器
3．3 流体放大器和逻辑器
4．流体传感器
4．1 流动传感器
4．2 黏度／密度传感器
4．3 其他流体传感器
5．阀
5．1 无源阀
5．2 有源阀
5．2．1 气动阀致动
5．2．2 热气动阀致动
5．2．3 相变阀致动
5．2．4 固体热膨胀阀致动
5. 2．5 压电阀执行机构
5．2．6 静电阀致动
5. 2．7 电磁执行阀
5．2．8 双稳阀结构
6. 泵
6. 1 气泡泵
6．2 膜片泵
6. 3 扩散泵
6．4 旋转泵
6．5 电水力泵
6．5．1 注入型EHD泵
6．5．2 非注入型EHD泵
6．6 电析／电泳泵
6．7 超声泵
6．8 真空泵
7．液滴发生器
8．其他器件
8．1 用微器件的宏观流动控制
8．2 微粒过滤器和捕获器
9．微流量系统的问题
9．1 连接器
9．2 封装／系统集成
9．3 可回收或一次性器件的设计
10．集成化学分析系统
10．1 化学分析的衡量问题
10．2 气体色谱系统
10．3 液体色谱系统
10，4 电泳系统
10．5 细胞融合器件
10．6 DNA放大(PCR)系统
10．7 多功能流量系统
11．生物流体系统
11．1 生物流管
11．2 生物阀
11．2．1 被动生物阀
11．2．2 主动生物阀
11．3 生物泵
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