防静电工作区定义与用途

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一、防静电工作区定义与用途

防静电工作区（EPA）定义

配置一定的防静电材料、设施和设备的特定工作环境，以限制区域内的静电电位。

Electrostatic discharge protected area (EPA)

A designated environment provided with materials and equipment to limit electrostatic potentials.

—— ESD ADV1.0-2017 for Electrostatic Discharge Terminology.

配置各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所。（GJB 3007－2009）

防静电工作区（EPA）用途

在EPA中操作没有防静电包装的静电放电敏感器件、装置和设备。

利用EPA进行ESD控制的基本思想

在EPA内，对所有导体或静电泄漏材料进行静电接地。

在EPA内，尽量不使用绝缘材料。

在EPA内，对于无法避免的绝缘材料，远离静电敏感器件或用离子消电器消除其静电。

在EPA外，储存和运输静电敏感器件时，要用防静电包装进行隔离和屏蔽。

EPA的范围和规模

可以是一个工作台

一个活动或固定的工作站

可以是一个房间

也可以是整个建筑物

一个维修工作现场

EPA构成要素

明确划定的边界

标志（EPA专用标记）

防静电设施

静电检测设备

接地系统

环境（温湿度）控制

经过防静电培训的人员

EPA设置举例

1—静电接地的轮子	11—消电器
2—接地的工作表面	12—静电泄漏工作面
3—腕带试验器	13—带接地脚和靠垫的椅子
4—鞋袜试验器	14—防静电地板
5—腕带接线和腕带	15—防静电工作服
6—接地线	16—能够静电接地的储物架
7—静电放电接大地装置	17—能够接地的物品架
8—静电地	18—防护工作区警示标记
9­—接地连接点	19－机器设备
10—脚跟带

二、防静电工作区技术要求

接地及等电位跨接系统

EPA应有接地/等电位跨接系统，以保证静电放电敏感器件、工作人员和所有其它导电体(如移动设备)，处在同样的静电电位（零电位）。

接地的目的：

防雷接地－提供雷电流泄放通道；

保护接地－保护人身安全，防止电源故障时发生电击；

工作接地－保证工频线路可靠运行，通常有大流流过。

信号地－保持信号完整性，建立信号电流均匀而稳定的通路；

静电接地－防止电荷的积累（为静电电荷提供泄放通道）

- 工作接地、保护接地、重复接地示意图 -

接地：

跨接：

人员接地要求

天华超净产品体系：

人员接地目的：

通过人员接地，泄漏人体静电荷，保证人员与地之间电位小于100V。

人员接地方式：

1.通过腕带连接到共同接地点。腕带电阻介于0.75MΩ到35MΩ之间。

2.通过防静电鞋（或脚根带）与防静电地面配合（串联）接地。人员对地电阻小于35MΩ，或者人员对地电阻小于1000MΩ同时要求人员对地电位小于100V（5次测量峰值取平均）。

EPA内设施技术要求

工作台面：点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω

储物架：点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω

转运车：点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω

防静电地面：点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω

离子风机：消电时间（从1000V到100V）小于5s（60cm），残压小于35V。

防静电椅：点对点电阻、点对地电阻均小于10的10次方Ω

防静电服：点对点电阻小于10的12次方Ω

可接地型防静电服：点对点电阻小于10的9次方Ω

常用的防静电用品

▲腕带（佩带时应紧贴皮肤）

▲脚带（双脚都须穿带）

▲静电服、静电鞋、手套/指套（应无破损，扣紧）

常用的防静电用品

防静电地板、防静电台垫

防静电PVC材料

▲静电消除器产品--风机类

▲静电消除器产品--其他类

▲静电防护包装类产品及擦拭布

▲静电符合性实时监测系统

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