一、防静电工作区定义与用途 防静电工作区(EPA)定义 配置一定的防静电材料、设施和设备的特定工作环境,以限制区域内的静电电位。 Electrostatic discharge protected area (EPA) A designated environment provided with materials and equipment to limit electrostatic potentials. —— ESD ADV1.0-2017 for Electrostatic Discharge Terminology. 配置各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所。(GJB 3007-2009) 防静电工作区(EPA)用途 在EPA中操作没有防静电包装的静电放电敏感器件、装置和设备。 利用EPA进行ESD控制的基本思想 在EPA内,对所有导体或静电泄漏材料进行静电接地。 在EPA内,尽量不使用绝缘材料。 在EPA内,对于无法避免的绝缘材料,远离静电敏感器件或用离子消电器消除其静电。 在EPA外,储存和运输静电敏感器件时,要用防静电包装进行隔离和屏蔽。 EPA的范围和规模 可以是一个工作台 一个活动或固定的工作站 可以是一个房间 也可以是整个建筑物 一个维修工作现场 EPA构成要素 明确划定的边界 标志(EPA专用标记) 防静电设施 静电检测设备 接地系统 环境(温湿度)控制 经过防静电培训的人员 EPA设置举例 1—静电接地的轮子 | 11—消电器 | 2—接地的工作表面 | 12—静电泄漏工作面 | 3—腕带试验器 | 13—带接地脚和靠垫的椅子 | 4—鞋袜试验器 | 14—防静电地板 | 5—腕带接线和腕带 | 15—防静电工作服 | 6—接地线 | 16—能够静电接地的储物架 | 7—静电放电接大地装置 | 17—能够接地的物品架 | 8—静电地 | 18—防护工作区警示标记 | 9—接地连接点 | 19-机器设备 | 10—脚跟带 | |
二、防静电工作区技术要求 接地及等电位跨接系统 EPA应有接地/等电位跨接系统,以保证静电放电敏感器件、工作人员和所有其它导电体(如移动设备),处在同样的静电电位(零电位)。 接地的目的: 防雷接地-提供雷电流泄放通道; 保护接地-保护人身安全,防止电源故障时发生电击; 工作接地-保证工频线路可靠运行,通常有大流流过。 信号地-保持信号完整性,建立信号电流均匀而稳定的通路; 静电接地-防止电荷的积累(为静电电荷提供泄放通道) - 工作接地、保护接地、重复接地示意图 - 接地: 跨接: 人员接地要求 天华超净产品体系: 人员接地目的: 通过人员接地,泄漏人体静电荷,保证人员与地之间电位小于100V。 人员接地方式: 1.通过腕带连接到共同接地点。腕带电阻介于0.75MΩ到35MΩ之间。 2.通过防静电鞋(或脚根带)与防静电地面配合(串联)接地。人员对地电阻小于35MΩ,或者人员对地电阻小于1000MΩ同时要求人员对地电位小于100V(5次测量峰值取平均)。 EPA内设施技术要求 工作台面:点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω 储物架:点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω 转运车:点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω 防静电地面:点对点电阻、点对地电阻均小于10的9次方Ω 离子风机:消电时间(从1000V到100V)小于5s(60cm),残压小于35V。 防静电椅:点对点电阻、点对地电阻均小于10的10次方Ω 防静电服:点对点电阻小于10的12次方Ω 可接地型防静电服:点对点电阻小于10的9次方Ω 常用的防静电用品 ▲腕带(佩带时应紧贴皮肤) ▲脚带(双脚都须穿带) ▲静电服、静电鞋、手套/指套(应无破损,扣紧) 常用的防静电用品 防静电地板、防静电台垫 防静电PVC材料 ▲静电消除器产品--风机类 ▲静电消除器产品--其他类 ▲静电防护包装类产品及擦拭布 ▲静电符合性实时监测系统
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