揭秘微放电效应:原理与影响探究(上)

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微放电效应,简单来说,就是当两个金属表面或单个介质表面处于真空环境中时,可能会产生的一种放电现象。这种放电并不是普通的电流流动,而是一种谐振放电,意味着电流会在某种频率下振荡并释放能量。这种效应通常在高真空或超高真空环境下发生,并且可能会对涉及的电子设备或系统造成损害,因为它可能引发不必要的电磁干扰,甚至破坏设备的正常运行。其原理涉及多个因素,包括电子的积累影响、输入功率的高低、两金属表面间的距离、金属间隙阻抗、传输频率影响以及表面潜在电位等。
 
微放电效应
 
当器件表面发生二次电子发射时,会引发微放电效应。这些电子在射频电场中被加速并获得足够的能量,然后撞击金属表面,产生比原有电子更多数目的二次电子。这些二次电子在电场的作用下进一步被加速,形成电子雪崩现象,从而引发微放电。在金属表面之间的微放电中,电子平均自由程必须大于两个金属表面之间的间隙距离,并且两个表面之间的电子平均渡越时间必须为射频电场半周期的奇数倍。而在介质单表面上发生的微放电中,表面电荷产生的直流电场必须能够使电子加速返回到介质表面,从而产生二次电子倍增。
 
微放电效应是一种谐振现象,其产生条件包括电子渡越时间必须是射频场周期一半的奇数倍,以及射频场、器件结构缝隙和表面次级电子发射特性等因素的依赖关系。此外,表面二次电子发射特性还与材料、表面处理、污染、温度、电子撞击板时的速度和缝隙电压等因素有关。微放电效应在气体击穿放电和电荷输送过程中形成,是一种谐振式的放电响应。
 
在外加高强电场的作用下,自由电子被加速并积累能量,然后与周围的气体分子发生剧烈碰撞,激发气体分子并使其外层电子发生电离。电离出来的自由电子又被高能电场加速,进一步引发更多的气体分子电离,形成电子雪崩现象。这种微放电过程伴随着大量的化学反应,可以打破污染气体分子间的原子格局,重新组合成新的物质,从而实现脱除污染气体的目的。
 
微放电效应往往发生在真空或接近真空的环境中,例如在微波器件中,当压强小于10³托时,电子的平均自由程会远大于腔体两表面的间距,从而增加微放电的可能性。微放电效应需要有初始自由电子作为种子电子。这些电子在射频电场中被加速并撞击金属表面,引发二次电子发射,从而引发微放电。激励电场是微放电效应的另一个重要条件,电场使电子加速并撞击腔体表面,产生更多的二次电子,进而引发微放电。
 
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